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膜厚测试仪 准直器：ø0.05mm；ø0.1mm；ø0.2mm；ø0.5mm；四准直器任选一种 近测距光斑扩散度：10% 小测量面积：约0.002mm² 测量距离：具有距离补偿功能，可改变测量距离，能测量凹凸异形样品，变焦距离0-30mm 样品观察：1/2.5彩色CCD，全局快门，有效像素：1280*960，变焦功能 对焦方式：高敏感镜头（无需增加其他辅助传感器），手动对焦
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第11年
