膜厚測試儀常用到的測試方法有哪些？

更新時間：2020-05-19

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　　膜厚測試儀常用到的測試方法有哪些？

　　膜厚測試儀一般要求基材導磁率在500以上。如果覆層材料也有磁性，則要求與基材的導磁率之差足夠大（如鋼上鍍鎳）。當軟芯上繞著線圈的測頭放在被測樣本上時，儀器自動輸出測試電流或測試信號。早期的產品采用指針式表頭，測量感應電動勢的大小，儀器將該信號放大后來指示覆層厚度。

　　如果經常跟本測試儀打交道的朋友們都知道，該儀器是有好幾種測試方法的，比如有臺階測厚方法、熒光測厚度、金相測膜厚度、SEM測膜厚度、XPS深度剖析等等，若大家有想了解更多關于這些方法詳細內容的，請看下面介紹。

　　一：臺階測厚方法

　　設備：臺階儀

　　此方法對厚度的測量范圍較寬，0.1μm到10μm均能檢測；但對樣品的要求很高，膜層與基材之間必須有臺階，且表面光滑。

　　二：熒光測厚度

　　設備：XRF測厚儀

　　此方法適用于測量厚度＞0.01μm的金屬膜層，可同時測量多層；在使用膜厚測試儀測量前需知道樣品的鍍膜工藝信息（如基材材料、膜層材料及順序）；可以實現無損檢測（視樣品）。

　　三：金相測膜厚度

　　設備：金相顯微鏡

　　此方法適用于測量厚度＞1μm的金屬膜層，可同時測量多層；被測樣品需要經垂直于待測膜層取樣進行金相制樣，再在金相顯微鏡下觀察并拍照測量待測膜層厚度。

　　四：SEM測膜厚度

　　設備：為掃描電子顯微鏡（SEM）

　　此方法測試范圍寬，適用于測量厚度0.01μm~1mm的金屬或非金屬膜層；樣品前處理與金相測厚相同，配有能譜附件（EDS）的SEM設備可以確定每一層膜層的成分。

　　五：XPS深度剖析

　　設備：X射線光電子能譜儀（XPS）

　　此方法適用于測量納米級厚度的膜層。XPS設備可以測試樣品極表面的元素成分（每次測量的信息深度為5nm左右），并且可以在樣品室內直接對樣品表面進行濺射，可以去除厚度（納米級）的表層物質，膜厚測試儀的這兩個功能結合使用就可以測量出納米級膜層的厚度；

　　例如，樣品表面成分為銠元素，逐步濺射掉表面50nm后發現成分中開始出現大量的鉑元素，那么可以判斷測試位置銠膜的厚度約為50nm。